[发明专利]一种光纤珐珀传感器及其制作方法有效
申请号: | 201210352352.4 | 申请日: | 2012-09-20 |
公开(公告)号: | CN102889901A | 公开(公告)日: | 2013-01-23 |
发明(设计)人: | 冉曾令;陈怡;李成;左红梅;王彦君;柳珊 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | G01D5/26 | 分类号: | G01D5/26;G01K11/32;G01L1/24;G01L11/02;G01P15/03 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 温利平 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种光纤珐珀传感器及其制作方法,所述的传感器包括:光纤和被接光纤,在所述光纤或/和被接光纤的端面设有微槽,所述光纤和被接光纤对接连接在一起,所述微槽形成FP腔,所述FP腔的光学发射面为平面,所述光纤珐珀传感器的外端面加工成薄片,在所述薄片中间位置刻蚀出一个凸起的圆柱体。本发明的光纤珐珀传感器实现了传感器的简单复用,即在一个传感头上制作出两个不同的珐珀腔,通过这两个不同的珐珀腔来实现双参数测量,利用空气腔对温度不敏感的特性用其测量压力或者加速的,同时利用实心腔对温度的敏感特性实现对温度的测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 光纤 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种光纤珐珀传感器,包括:光纤和被接光纤,在所述光纤或/和被接光纤的端面设有微槽,所述光纤和被接光纤对接连接在一起,所述微槽形成FP腔,所述FP腔的光学发射面为平面,所述光纤珐珀传感器的外端面加工成薄片,在所述薄片中间位置刻蚀出一个凸起的圆柱体。
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