[发明专利]沉积成膜装置中所使用的晶圆固定装置有效
| 申请号： | 201210354063.8 | 申请日： | 2012-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN103668101A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 吉金林;乐天贵;陆雁华 | 申请（专利权）人： | 无锡华润华晶微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 唐立;王忠忠 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市国*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种沉积成膜装置中所使用的晶圆固定装置，属于薄膜沉积技术领域。该晶圆固定装置，其包括：定位环、压片环和用于压片环弹性地固定在所述定位环上弹性固定部件；其中，在所述压片环的相向于所述晶圆的表面上设置有多个压片点，所述压片点作用于所述晶圆的上表面以使其相对沉积成膜装置的内腔的工作台固定。使用该晶圆固定装置可以降低碎片风险并减少“粘片”现象。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 使用 固定 | ||
【主权项】：
一种沉积成膜装置中所使用的晶圆固定装置，其特在于，包括：定位环，压片环，和用于压片环弹性地固定在所述定位环上的弹性固定部件；其中，在所述压片环的相向于所述晶圆的表面上设置有多个压片点，所述压片点作用于所述晶圆的上表面以使其相对沉积成膜装置的内腔的工作台固定。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡华润华晶微电子有限公司，未经无锡华润华晶微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210354063.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种二硝酰胺铵球形化颗粒形貌的维持方法
- 下一篇：一种蓝宝石热复合方法
- 同类专利
- 专利分类
