[发明专利]一种沉积碲化镉薄膜设备及其沉积碲化镉薄膜的方法无效
| 申请号： | 201210354975.5 | 申请日： | 2012-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN103668078A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 蒋猛;牛学鹏;刘志强 | 申请（专利权）人： | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种沉积碲化镉薄膜设备及其沉积碲化镉薄膜的方法，其中的喷涂装置包括进气进料管、扩散加热管和外套管；所述外套管内套设所述扩散加热管，所述扩散加热管之内再套设所述进气进料管；所述进气进料管沿长度方向开设有两排进气进料孔，所述两排进气进料孔以所述进气进料管的轴心线对称布置；所述扩散加热管沿长度方向开设有两条扩散狭缝，且所述两条扩散狭缝不朝向所述两排进气进料孔，所述两条扩散狭缝以所述扩散加热管的轴心线对称布置；所述外套管沿长度方向开设有两条喷涂狭缝，且所述两条喷涂狭缝不朝向所述两条扩散狭缝，所述两条喷涂狭缝以外套管的轴心对称布置。本发明可以同时对两块衬底沉积碲化镉薄膜，因此可以大幅度提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 碲化镉 薄膜 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种喷涂装置，用于在衬底上形成薄膜层，其特征在于，所述喷涂装置包括进气进料管、扩散加热管和外套管；所述外套管内套设所述扩散加热管，所述扩散加热管之内再套设所述进气进料管；所述进气进料管沿长度方向开设有两排进气进料孔，所述两排进气进料孔以所述进气进料管的轴心线对称布置；所述扩散加热管沿长度方向开设有两条扩散狭缝，且所述两条扩散狭缝不朝向所述两排进气进料孔，所述两条扩散狭缝以所述扩散加热管的轴心线对称布置；所述外套管沿长度方向开设有两条喷涂狭缝，且所述两条喷涂狭缝不朝向所述两条扩散狭缝，所述两条喷涂狭缝以外套管的轴心对称布置。
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