[发明专利]一种晶体管阈值电压的测试电路有效
| 申请号： | 201210356131.4 | 申请日： | 2012-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN103675636A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 甘正浩;冯军宏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R19/00 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶体管阈值电压的测试电路，所述测试电路包括阈值电压应力电路，所述阈值电压应力电路包括含有待测晶体管的镜像电流电路，所述镜像电流电路一端连接电源，另一端接地，其特征在于，所述测试电路还包括一开关电路，所述开关电路包括第一晶体管和第二晶体管，所述第一晶体管设置于电源和待测晶体管之间，所述第一晶体管的栅极与第一测量控制信号相连；所述第二晶体管设置于所述电源和所述镜像电流电路之间，所述第二晶体管栅极与第二测量控制信号相连；开关电路控制所述阈值电压应力电路分别处于应力状态和测量状态，通过所述两种状态来测量所述待测晶体管的阈值电压。本发明所述方法可以更加准确的对HCI效应进行评价和测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体管 阈值 电压 测试 电路 | ||
【主权项】：
一种晶体管阈值电压的测试电路，所述测试电路包括阈值电压应力电路，所述阈值电压应力电路包括含有待测晶体管的镜像电流电路，所述镜像电流电路一端连接电源，另一端接地，其特征在于，所述测试电路还包括一开关电路，所述开关电路包括第一晶体管和第二晶体管，所述第一晶体管设置于电源和所述待测晶体管之间，所述第一晶体管的栅极与第一测量控制信号相连；所述第二晶体管设置于所述电源和所述镜像电流电路之间，所述第二晶体管栅极与第二测量控制信号相连；所述开关电路控制所述阈值电压应力电路分别处于应力状态和测量状态，通过所述两种状态来测量所述待测晶体管的阈值电压。
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