[发明专利]一种投影光学系统有效
| 申请号： | 201210360715.9 | 申请日： | 2012-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN102981249A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 冉英华;邢廷文;张海波;吕保斌;陈红丽;白瑜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B13/18 | 分类号： | G02B13/18;G02B13/14;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种投影光学系统，沿投影光学系统光轴方向依次安置第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组并处于同一光轴；第一透镜组和第三透镜组具有负光焦度；第二透镜组、第四透镜组和第五透镜组具有正光焦度；第一透镜组接收输入光束并输出第一发散光束；第二透镜组接收第一发散光束并输出第二发散光束；第三透镜组接收第二发散光束并输出第一会聚光束；第四透镜组接收第一会聚光束并输出第三发散光束；第五透镜组接收第三发散光束并输出第二会聚光束，将第二会聚光束会聚到像面。本发明在高分辨率和大数值孔径的条件下，有效地减少镜片数量、降低系统的加工、检测、装调成本，同时也能提供较大的物方和像方工作距。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 投影 光学系统 | ||
【主权项】：
一种投影光学系统，其特征在于：用于将物面内的图案投射到像平面上，沿投影光学系统光轴方向安置有第一透镜组(G1)、第二透镜组(G2)、第三透镜组(G3)、第四透镜组(G4)和第五透镜组(G5)，并且第一透镜组(G1)、第二透镜组(G2)、第三透镜组(G3)、第四透镜组(G4)和第五透镜组(G5)处于同一光轴，从光束入射方向顺序第一透镜组(G1)具有负光焦度、第二透镜组(G2)具有正光焦度、第三透镜组(G3)具有负光焦度、第四透镜组(G4)具有正光焦度和第五透镜组(G5)具有正光焦度，其中：第一透镜组(G1)，接收输入光束，对物面发出的光束进行发散，得到并输出第一发散光束；第二透镜组(G2)，接收第一发散光束，对第一发散光束进行发散，得到并输出第二发散光束；第三透镜组(G3)，接收第二发散光束，对第二发散光束进行会聚，得到并输出第一会聚光束；第四透镜组(G4)，接收第一会聚光束，对第一会聚光束进行发散，得到并输出第三发散光束；第五透镜组(G5)，接收第三发散光束，对第三发散光束进行会聚，得到第二会聚光束，并将第二会聚光束会聚到像面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电技术研究所，未经中国科学院光电技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210360715.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高效聚结分离器
- 下一篇：复位机构及其自平衡电动两轮机器人转向装置
