[发明专利]阻变存储器及其制备方法有效
申请号: | 201210361359.2 | 申请日: | 2012-09-25 |
公开(公告)号: | CN102891253A | 公开(公告)日: | 2013-01-23 |
发明(设计)人: | 蔡一茂;毛俊;武慧薇;黄如 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 俞波;许伟群 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种阻变存储器及其制备方法。所述阻变存储器包括上电极、阻变材料和下电极,所述阻变材料位于下电极之上,所述上电极嵌入在阻变材料之内,所述上电极的顶部的宽度大于其底部的宽度。本发明还公开了阻变存储器的制备方法。本发明所提供的阻变存储器及其制备方法,可以有效地缩小电极的作用面积,同时,可以以制作微米级存储器的成本来实现纳米级存储器的效果,简化了存储器的制作工艺、同时节约了制作成本。 | ||
搜索关键词: | 存储器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种阻变存储器,其特征在于,包括上电极(1)、阻变材料(2)和下电极(3),所述阻变材料(2)位于下电极(3)之上,所述上电极(1)嵌入在阻变材料(2)之内,所述上电极的顶部的宽度大于其底部的宽度。
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