[发明专利]增强外腔反馈光谱合束半导体激光器反馈的方法及装置

摘要

本发明涉及一种增强外腔反馈光谱合束半导体激光器反馈的方法及装置，属于半导体激光技术领域。该方法在外腔反馈光谱合束半导体激光器的非光谱合束方向，采用准直镜一和成像镜与半导体激光器和外腔反馈镜组成4f系统，将半导体激光器上的发光点直接成像并垂直入射到外腔反馈镜上，形成有效反馈。该方法降低外腔反馈光谱合束半导体激光器对半导体激光器位置精度的要求，简化其制备工艺和装调工艺，提高外腔反馈光谱合束半导体激光器的输出功率和可靠性。

主权项

一种增强外腔反馈光谱合束半导体激光器反馈的方法，其特征在于：a、在外腔反馈半导体激光器的非光谱合束方向，半导体激光器（1）输出的激光束，经过焦距为f1的准直镜一（2）准直后，再通过焦距为f2的成像镜（3）作用，直接将半导体激光器上的发光点成像到外腔反馈镜（4）上，其入射方向正好与外腔反馈镜（4）垂直，经过外腔反馈镜（4）部分反射后，反射光沿光路返回到原发光点，形成有效谐振，部分透射形成激光输出；在非光谱合束方向，所述的半导体激光器（1）位于准直镜一（2）左侧f1处，成像镜（3）位于准直镜（2）右侧f1+f2处，反馈镜（4）位于成像镜（3）右侧f2处；b、外腔反馈半导体激光的光谱合束方向，半导体激光器（1）上的多个发光单元输出的多束光，经过焦距为f3的准直镜二（5）准直后，在焦距f4场镜（6）的作用下，以不同角度入射到光栅（7）上，并在光栅（7）处发生空间重叠，然后由光栅的色散作用和外腔反馈镜（4）的反馈作用，使得激光束在光谱合束方向波长单调变化，并由外腔反馈镜（4）输出发散角和光斑尺寸与半导体激光器（1）上单个发光单元相同的激光，将半导体激光单元输出光束的波长沿光谱合束方向呈单调变化关系，并在外腔反馈镜（4）输出光斑和发散角均与单元光束相同的激光；所述的半导体激光器（1）位于准直镜二（5）左侧f3处，场镜（6）位于准直镜二（5）右侧f3+f4处，光栅（7）位于场镜（6）右侧f4处，外腔反馈镜（4）位于光栅（7）的利特罗角方向，并于该方面的衍射光垂直。