[发明专利]定向的晶体凝固炉在审
申请号: | 201210362459.7 | 申请日: | 2012-09-25 |
公开(公告)号: | CN103031594A | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 帕特里克·安德罗;菲力浦·雷;吉勒斯·瑞普林;菲力浦·雷蒙德 | 申请(专利权)人: | 依西埃姆科技公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 杨黎峰;李欣 |
地址: | 法国格勒*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | 一种定向的晶体凝固炉,包括具有对称轴线的坩埚,所述炉沿着所述对称轴线依次包括:所述坩埚;加热元件;隔热件;热交换器;所述隔热件沿着所述对称轴线依次包括两个第一遮板和两个第二遮板,所述第一遮板能够通过平移运动而远离或返回朝向彼此和所述对称轴线移动,以及所述第二遮板能够通过平移运动而远离或返回朝向彼此和所述对称轴线移动,所述第一遮板和所述第二遮板的平移方向为垂直的。 | ||
搜索关键词: | 定向 晶体 凝固 | ||
【主权项】:
一种定向的晶体凝固炉,包括具有对称轴线(Δ1)的坩埚(7),所述炉沿着所述对称轴线依次包括:所述坩埚;加热元件(21);两个第一遮板(32a、32b),所述两个第一遮板位于第一平面内且能够通过平移运动而远离或返回朝向彼此和所述对称轴线移动;两个第二遮板(34c、34d),所述两个第二遮板位于第二平面内且能够通过平移运动而远离或返回朝向彼此和所述对称轴线移动,所述第一遮板的平移方向和所述第二遮板的平移方向为垂直的,所述第一遮板和所述第二遮板共同形成隔热件(29);以及热交换器(27)。
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