[发明专利]一种基于稀疏孔径拼接的平面光学元件检测方法

摘要

本发明涉及一种基于稀疏孔径拼接的平面光学元件检测方法。子所述检测装置包括：二维平移台、干涉仪和标准平面透镜，具体步骤为：将所述平面光学元件固定在二维平移台上，干涉仪对准所述平面光学元件的位置；调节二维平移台到达指定目标分布区域，使干涉仪出瞳对准平面光学元件的几何中心部分，干涉仪对该几何中心部分进行采集测量计算，得到该子孔径面型信息；重复前述步骤，直到完成全部子孔径的测量，即可实现所述平面光学元件的稀疏子孔径测量。本发明针对环形抛光的平面光学元件面形具有较高圆对称性的特点，通过一定规则指定检测区域，可达到不覆盖全孔径，快速完成大口径光学平面的稀疏孔径检测的目的，为环形抛光的工序检验提供一种经济的检测方法。

主权项

一种基于稀疏孔径拼接的平面光学元件检测方法，其特征在于采用平面光学元件检测装置进行检测，所述检测装置包括二维平移台、干涉仪和标准平面透镜，所述标准平面透镜固定于干涉仪出瞳端，所述二维平移台上放置有平面光学元件，所述干涉仪的出瞳正对平面光学元件，使平面光学元件平行于标准平面透镜，以便测量干涉图像，具体步骤如下：(1)将所述平面光学元件固定在二维平移台上，干涉仪对准所述平面光学元件的位置；(2)调节二维平移台到达指定目标分布区域，使干涉仪出瞳对准平面光学元件的几何中心部分，干涉仪对该几何中心部分进行采集测量计算，得到该子孔径面型信息；(3)在平面光学元件边缘找出距离几何中心点最远点，记该最远点与几何中心点的连接线段为L；(4)移动二维平移台至新位置，使干涉仪出瞳中心对准线段L，并使出瞳对准的区域与步骤(2)所述测量区域有部分重叠，对该部分进行采集计算，得到该子孔径面型信息；(5)重复步骤(4)，直到完成全部子孔径的测量，即可实现所述平面光学元件的稀疏子孔径测量；其中：所述部分重叠区域的面积，由平面光学元件轮廓、尺寸与干涉仪出瞳尺寸决定。