[发明专利]一种纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201210363892.2 | 申请日： | 2012-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN102864413A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 黄峰;李艳玲;张晓娟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/35 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层，以重量百分比计，组成元素为：33.9～70.0％的V、15.1～23.0％的C和7.0～45.0％的Co，属于陶瓷涂层领域。本发明还公布了一种纳米复合结构V-C-Co韧性涂层的制备方法，其方法为：将VC靶安装在中频阴极上，Co靶安装在直流阴极上，采用磁控溅射方法，对基体溅射沉积纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层，利用此种方法制备的纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层兼具有高硬度、高韧性的特点，其塑性指数为0.45以上，硬度达到15GPa以上，可以满足防护涂层及耐磨涂层高硬度和高韧性的要求，其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 复合 结构 co 韧性 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米复合结构的V‑C‑Co韧性涂层，其特征在于，以重量百分比计，组成元素为：V 33.9～70.0％C 15.1～23.0％Co 7.0～45.0％。
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