[发明专利]传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备在审
| 申请号： | 201210365108.1 | 申请日： | 2012-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN103033176A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 市川史生 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5628 | 分类号： | G01C19/5628 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备，其能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度，并且可靠性较高。本发明的传感器元件具备：基部(21)；驱动用振动臂(221、222)；调节用振动臂(241～244)，其随着驱动用振动臂(221、222)的驱动振动而进行振动；检测用电极，其根据被施加于驱动用振动臂(221、222)的物理量而输出电荷；第一调节用电极，其被设置在调节用振动臂(241、242)上，且与检测用电极电连接，并随着调节用振动臂(241、242)的振动而输出电荷；第二调节用电极，其被设置在调节用振动臂(243、244)上，且与检测用电极电连接，并随着调节用振动臂(243、244)的振动而输出与第一调节用电极成为相反极性的电荷。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 元件 及其 制造 方法 装置 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
一种传感器元件，其特征在于，具备：基部；驱动用振动臂，其从所述基部延伸，并进行驱动振动；第一振动臂以及第二振动臂，其从所述基部延伸，并随着所述驱动用振动臂的驱动振动而进行振动；检测部，其包括检测用电极，所述检测用电极根据被施加于所述驱动用振动臂的物理量而输出信号，所述传感器元件还具备：第一电极，其被设置在所述第一振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述第一振动臂的振动而产生电荷；第二电极，其被设置在所述第二振动臂上，且与所述检测用电极电连接，并随着所述第二振动臂的振动而产生与所述第一电极极性相反的电荷。
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