[发明专利]一种基于钽酸钾敏感膜的湿敏传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 201210366563.3 | 申请日： | 2012-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN102854222A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 阮圣平;张莹;刘彩霞;沈亮;郭文滨;董玮;周敬然;温善鹏;张歆东;陈维友 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01N27/02 | 分类号： | G01N27/02 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 张景林;刘喜生 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于湿敏器件技术领域，具体涉及一种以钽酸钾为敏感膜的湿敏传感器及其制备方法。该传感器由陶瓷衬底、采用丝网印刷法制备在陶瓷衬底上的Au金属叉指电极、采用涂覆法制备在Au金属叉指电极上的钽酸钾敏感膜组成，其中钽酸钾敏感膜的厚度为2～4μm，金属叉指电极的宽度和间距均为0.15～0.20mm。首先采用丝网印刷法在陶瓷衬底上制备Au金属叉指电极，采用水热法制备钽酸钾敏感材料，采用涂覆的方法，将敏感材料涂覆在金属叉指电极上，制成湿敏元件。本发明制备钽酸钾湿敏传感器具有制备工艺简单、器件体积小、适于大批量生产，对湿度有较高的灵敏度、较小的湿滞和较快的响应时间，在湿敏探测方面显示着巨大的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 钽酸钾 敏感 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于钽酸钾敏感膜的湿敏传感器，其特征在于：由陶瓷衬底、制备在陶瓷衬底上的Au金属叉指电极、制备在Au金属叉指电极上的纳米钽酸钾敏感膜组成，其中钽酸钾敏感膜的厚度为2～4μm，金属叉指电极的宽度和间距均为0.15～0.20mm。
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