[发明专利]钛聚焦环的制造方法有效
| 申请号： | 201210367228.5 | 申请日： | 2012-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN103692151A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钛聚焦环的制造方法，包括：热锻处理、冷轧、以及第一热处理，卷圆和第二热处理步骤。其中，当钛聚焦环坯料经热锻处理、冷轧工艺后，在后续两步热处理步骤中，只需将钛聚焦环坯料置于普通的热处理炉（非真空处理炉）中，并配合特定的条件下先后进行两次热处理，及在热处理工序后配合特定的冷却工艺、机械加工工艺，即可制得微观晶粒细小，结构均匀的钛聚焦环。相比于以往普通热处理炉处进行的热处理后钛聚焦环坯料出现的深度氧化现象而造成产品的报废，采用本发明制备的钛聚焦环完全符合溅射工艺的要求；而与现有的真空热处理工艺相比，本发明在保证钛聚焦环质量的同时，简化了制备工艺，降低了工艺成本。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种钛聚焦环的制造方法，其特征在于，包括：提供钛聚焦环坯料；将所述钛聚焦环坯料经热锻处理，之后经冷轧加工至预定厚度；将冷轧后的所述钛聚焦环坯料置于热处理炉中，于500~680℃条件下进行第一次热处理，持续60~120min后，随炉冷却，并切割成预定尺寸的板状结构；将板状的所述钛聚焦环坯料加工成环状的钛聚焦环；将所述钛聚焦环置于热处理炉中，于500~600℃条件下进行第二次热处理，持续30~60min后，于室温下急速冷却成型。
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