[发明专利]激光加工装置的聚光光斑位置检测方法

摘要

一种激光加工装置的聚光光斑位置检测方法，包括：通过聚光器会聚的激光束的聚光光斑的设计值和板状物的厚度设定聚光器在Z轴方向的基准位置的基准位置设定步骤；设定对聚光器进行定位的检测位置的从起点到终点的多个Z轴方向位置的检测位置设定步骤；依次将聚光器定位于从起点到终点的检测位置，每当变更聚光器的检测位置时启动分度进给构件，以规定间隔分度进给，在聚光器的各检测位置在板状物分别形成规定长度的激光加工槽的激光加工槽形成步骤；通过摄像构件对在板状物形成的激光加工槽进行摄像的激光加工槽摄像步骤；以及使激光加工槽摄像步骤摄像的激光加工槽对应于该检测位置的从起点到终点的各检测位置显示于一条直线的激光加工槽显示步骤。

主权项

一种激光加工装置的聚光光斑位置检测方法，该激光加工装置具有：被加工物保持构件，其具有保持被加工物的保持面；激光光线照射构件，其具有对保持于该被加工物保持构件的被加工物照射激光光线的聚光器；加工进给构件，其在加工进给方向即X轴方向上对该被加工物保持构件和该激光光线照射构件进行相对的加工进给；分度进给构件，其在与加工进给方向即X轴方向正交的分度进给方向即Y轴方向上对该被加工物保持构件和该激光光线照射构件进行相对的分度进给；聚光点位置调整构件，其使该激光光线照射构件在与该被加工物保持构件的保持面垂直的方向即Z轴方向上移动；Z轴方向位置检测构件，其检测该聚光点位置调整构件所致的该聚光器的Z轴方向位置；摄像构件，其对保持于该被加工物保持构件的被加工物进行摄像；以及显示构件，其显示由该摄像构件摄像得到的图像，该激光加工装置的聚光光斑位置检测方法的特征在于包括：板状物保持步骤，在该被加工物保持构件的保持面保持具有规定厚度的板状物；基准位置设定步骤，根据由该聚光器会聚的激光光线的聚光光斑的设计值和板状物的厚度，设定该聚光器在Z轴方向上的基准位置；检测位置设定步骤，设定从该基准位置起超过设计值与实际的聚光光斑位置之间的误差范围的检测区域，设定定位该聚光器的检测位置的从起点到终点的多个Z轴方向位置；激光加工槽形成步骤，将该聚光器依次定位于在该检测位置设定步骤设定的从起点到终点的该多个检测位置，并且，在每次变更该聚光器的该检测位置时启动分度进给构件，以规定间隔进行分度进给，在该聚光器的各检测位置启动激光光线照射构件和加工进给构件，在保持于该被加工物保持构件的板状物分别形成规定长度的激光加工槽；激光加工槽摄像步骤，通过该摄像构件对通过该激光加工槽形成步骤形成于板状物的激光加工槽进行摄像；以及激光加工槽显示步骤，使通过该激光加工槽摄像步骤进行了摄像的激光加工槽与该检测位置的从起点到终点的各检测位置对应地显示于一条直线上。