[发明专利]一种激光原位剥蚀分析用的微容积气溶胶样品池

摘要

本发明提供一种激光原位剥蚀分析用的微容积气溶胶样品池，其包括一样品池腔（1），内部采取纺锤形结构，两底部盲孔（4），一进气孔（2），一出气孔（3）和一个密封圈挖槽（5），进气孔（2）分布于样品池右侧，出气孔（3）分布于样品池左侧，为无螺纹圆孔，带轴套快插接头一端插入后固定，另外一端可以和气体管路直接连接。本发明的样品池内部采用纺锤形和底部加洗对称盲孔的结构，以及进气孔垂直样品池表面的设计，使气体进入样品池后保持良好的气流动力学特性均匀高速的流过样品池内部空间，高效的把样品气溶胶输送出样品池。同时进气孔和出气孔采用快插接头，方便气路管线的接驳和日常维护，并且扩展了气体管路的适用范围。

主权项

一种激光原位剥蚀分析用的微容积气溶胶样品池，其特征在于：包括：一样品池腔（1），其内部采取纺锤形结构，顶部有两个固定卡扣（6），和一个活动卡扣（9），以固定样品池密封顶盖；两底部盲孔（4），一英寸直径，深一厘米，垂直分布于气流通道的中央两侧；一进气孔（2），分布于样品池右侧，有螺纹孔，快插螺纹接头（7）可旋入样品池该进气孔（2）固定；一出气孔（3），分布于样品池左侧，为无螺纹圆孔，带轴套快插接头（8）一端插入后固定，另外一端可以和气体管路直接连接；一密封圈挖槽（5），位于样品池上表面，该密封圈挖槽（5）为圆形，密封圈埋于该密封圈挖槽（5）内；三个卡扣，一个为活动卡扣，两个位于样品池腔（1）顶部，和活动卡扣一起固定样品池盖与样品池腔（1）连接；样品池的所述进气孔（2）采用和样品池上表面垂直的进气方式，使气流进入样品池后迅速均匀分布流向样品池内部，最大程度减小了与气流前进方向相垂直方向上的流速梯度，同时结合样品池纺锤形结构，气流在样品池内不会象常规样品池那样形成两侧对称涡流，而保持良好的气流动力学特性。