[发明专利]压电振动片的制造方法、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

摘要

本发明得到能减小位于一对振动臂部间的股部中的蚀刻残余，并具有稳定的振动特性的同时，难以发生外部撞击引起的振动臂部的破损的高品质的压电振动片。具备一对振动臂部和将这些振动臂部的基端部一体地支撑的基部的音叉型压电振动片的制造方法，具备蚀刻加工压电圆片（20）而形成压电振动片的外形形状的外形形成工序，该外形形成工序包括：在压电圆片的两主面上形成蚀刻保护膜后，从该保护膜形成与压电振动片的外形形状对应的掩模图案（22）的工序；以及以掩模图案为掩模对压电圆片进行湿蚀刻加工的工序，在掩模图案之中，用于形成股部的股部对应部分（22a）形成有沿着振动臂部的长度方向向基部侧延伸的狭缝状的切口部（23）。

主权项

一种压电振动片的制造方法，其中压电振动片具备：夹着中心轴而互相平行地配置的一对振动臂部；和在该一对振动臂部的长度方向上将基端部一体地悬臂支撑的基部，所述制造方法的特征在于：具备外形形成工序，该工序中对压电圆片进行蚀刻加工，从该压电圆片形成所述压电振动片的外形形状，所述外形形成工序具备：掩模图案形成工序，在压电圆片的两主面上形成蚀刻保护膜，利用光刻技术从该蚀刻保护膜形成与所述压电振动片的外形形状对应的掩模图案；以及蚀刻工序，以所述掩模图案为掩模，从两主面侧对所述压电圆片进行湿蚀刻的蚀刻加工，在进行所述掩模图案形成工序时，对所述掩模图案中用于形成位于所述一对振动臂部的基端部间的股部的股部对应部分，形成沿着所述一对振动臂部的长度方向向所述基部侧延伸的狭缝状的切口部。