[发明专利]蚀刻切割玻璃基材的方法有效
| 申请号： | 201210369577.0 | 申请日： | 2012-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN103693855A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 吕勇军;李泰城 | 申请（专利权）人： | 杜邦公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 苗征;于辉 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蚀刻切割玻璃基材的方法，所述方法使用蚀刻切割溶液，所述蚀刻切割溶液包含：(a)约10.1重量%~约20重量%的氢氟酸；(b)约5重量%~约20重量%的乙醇酸；(c)0重量%~约30重量%的硝酸；和(d)约30重量%~约84.9重量%的水；其中所述重量百分含量是基于所述蚀刻切割溶液的总重量，并且所述蚀刻切割溶液基本上不含氟化铵。本发明还涉及一种玻璃基材，所述玻璃基材是通过如上所述的方法而制得的经切割玻璃基材，与用仅含氢氟酸溶液蚀刻切割的玻璃基材相比，本发明的经切割玻璃基材具有较小的侧蚀和较大的棱角的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 切割 玻璃 基材 方法 | ||
【主权项】：
用于切割玻璃基材的方法，该方法包括：(i)提供玻璃基材；(ii)用保护膜覆盖所述玻璃基材；(iii)图案化所述保护膜以得到部分覆盖的玻璃基材，其中所述部分覆盖的玻璃基材是包含遮蔽区域和暴露区域；(iv)用蚀刻切割溶液在10℃~900℃下接触所述部分覆盖的玻璃基材1分钟~120分钟；(v)用水清洗经接触的玻璃基材；(vi)干燥经清洗的玻璃基材；和(vii)移除步骤(vi)的所述玻璃基材上的保护膜；其中，步骤(iv)中所述的蚀刻切割溶液包含：(a)10.1重量%~20重量%的氢氟酸；(b)5重量%~20重量%的乙醇酸；(c)0重量%~30重量%的硝酸；和(d)30重量%~84.9重量%的水；其中，所述重量百分含量是基于所述蚀刻切割溶液的总重量，并且所述蚀刻切割溶液基本上不含氟化铵。
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