[发明专利]波导芯片和PD阵列耦合的对准装置及利用其对准的方法

摘要

本发明提供一种波导芯片和PD阵列耦合的对准方法，采用红外光源照明，使PD阵列通过红外CCD在监视器中清楚成像，然后调节微调架控制波导芯片与PD阵列高度和水平位置，使经波导芯片反射的光斑垂直打在PD光敏面上，从而达到高效耦合；或者通过驱动模块和电脑相连自动调整六维微调架，电脑通过数据采集卡采集红外CCD图像信息，自动控制软件对图像进行处理并得出经波导芯片反射后的光斑阵列和PD光敏面阵列的斜率及位置差，自动控制软件控制六维微调架的调节对应的轴向使光斑阵列与PD光敏面阵列重合；本发明同时还提供了一种波导芯片和高速PD阵列耦合的对准装置，采用本发明可以减少波导芯片和PD阵列对准时间，提高对准效率及重复性，从而保证产品一致性。

主权项

一种波导芯片和PD阵列耦合的对准装置，其特征在于：   所述的对准装置包括有红外CCD监测系统、六维微调架（103）、夹持单元（102）、波导支撑架（115）、模块支架（104）、待耦合对准模块、待耦合对准模块的封装外盒（111）、基板（114）；   所述的红外CCD监测系统由红外CCD（101）、三维微调架（107），红外CCD支架（106）和监视器（118）、照明光源（105）和LED光源（119）组成；其响应谱线涵盖可见光和近红外光波段；   所述的待耦合对准模块包括波导芯片（109）和PD阵列（108），其被封装在封装外盒（111）内；   所述的夹持单元（102）设置在六维微调架（103）上，且其上固定有波导支撑架（115）；   所述的六维微调架（103）旁设置有模块支架（104），模块支架（104）上固定有待耦合对准模块的封装外盒（111），封装外盒（111）底部固定设置有基板（114），基板（114）上设置有PD阵列（108），PD阵列（108）的光敏面向上；   所述的波导芯片（109）固定在波导支撑架（115）上，其输出光斑垂直向下，其位置位于PD阵列（108）的上方；   所述的红外CCD（101）倾斜放置对准PD阵列（108）。