[发明专利]一种太阳能电池硅片清洗液及其使用方法有效
| 申请号： | 201210372257.0 | 申请日： | 2012-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102888300A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 周子游;刘贤金 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/60 | 分类号： | C11D7/60;C11D7/08;H01L31/18 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于半导体制造工艺中的硅片清洗技术领域，具体提供了一种太阳能电池硅片清洗液及使用方法。该太阳能电池硅片清洗液由硝酸、氢氟酸及去离子水混合配置而成；使得清洗液中硝酸的质量百分浓度为40%～60%，氢氟酸的质量百分浓度为0.025%～0.08%，余量为去离子水。该硅片清洗液的使用方法是：先用去离子水浸泡清洗硅片，再用该清洗液浸泡清洗。本发明不仅可以有效的去除硅片表面的有机、无机污染，而且可以去除附着在硅片表面的金属、非金属颗粒，从而提高了太阳能电池片的优质率与效率。本发明的清洗液配方简单，清洗效果好，且清洗方法简单，清洗时间短，清洗需要的温度不高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 硅片 清洗 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池硅片清洗液，其特征在于，由硝酸、氢氟酸、去离子水混合配制而成，使得清洗液中硝酸的质量百分浓度为40%~60%，氢氟酸的质量百分浓度为0.025%~0.08%，余量为去离子水。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖南红太阳光电科技有限公司，未经湖南红太阳光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210372257.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
