[发明专利]3D金属模具及其制造系统和方法

摘要

本发明涉及3D金属模具及其制造系统和方法。公开了一种制造3D模具以制造高产量低成本的亚微米3D结构产品的工艺。该工艺整合使用了双光子激光光刻和3D刻写技术以制备3D结构产品的每一层的3D模型，且利用纳米压印由该层的所述3D模具形成3D结构的每一层的一片聚合物膜。该片聚合物膜的每一层然后制造成亚微米3D结构产品。高产量低成本的亚微米3D结构产品的每一层的3D模具进一步被用于制备主模具，该主模具然后用于形成3D结构的每一层的一片聚合物膜以制造亚微米3D结构产品。还公开了使用该工艺的应用。

主权项

一种利用整合了双光子光刻和纳米压印以形成亚微米3D微透镜层的金属膜片的工艺的高产量低成本的亚微米3D微透镜层的3D金属模具，该工艺包括以下步骤：（i）创建3D微透镜的3D层的设计；（ii）利用双光子光刻工具来设立刻写工艺，以产生所述3D微透镜的所述层的3D图像；（iii）将所述层的所述3D图像的光刻胶显影在基板上；（iv）将一层或更多层金属溅射到所述层的所述3D图像的所述光刻胶或聚合物的表面上，以形成种子金属层；以及（v）通过电镀工艺来转印涂覆了所述种子金属层的所述3D图像，以形成3D金属模具；其中，所述3D金属模具被用于制造所述3D微透镜的同一层的所述3D图像的拷贝。