[发明专利]一种椭圆偏振仪的校准方法有效
| 申请号： | 201210375771.X | 申请日： | 2012-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102879337A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 徐鹏;刘涛;王林梓;刘健鹏;李国光 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对椭偏测量系统中椭圆偏振仪的偏振角度、光入射角度的校准方法，属于光学测量仪器技术领域。该方法根据傅里叶系数，参考样品光学常数，椭圆偏振仪的工作参数的关系式，通过最小二乘法进行拟合，得到椭圆偏振仪的工作参数的校正值。该方法能够对椭圆偏振仪中包括起偏器、检偏器的偏振方向，以及光入射角度在内的系统参数进行校准，校准过程简单、准确，校准完成后，无需调整系统部件即可直接进行测量，从而简化测量过程、提高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 椭圆 偏振 校准 方法 | ||
【主权项】：
一种椭圆偏振仪的校准方法，其特征在于，包括以下步骤：装载已知光学常数的参考样品；固定检偏器的透振方向，并匀速旋转起偏器，或者，固定起偏器的透振方向，并匀速旋转检偏器，采用椭圆偏振法测量参考样品，得到光强曲线Ii(t)；对所述光强曲线Ii(t)进行傅里叶展开或拟合，得到相应的实验傅里叶系数；根据所述实验傅里叶系数，光学常数，和推导得到理论傅里叶系数与椭圆偏振仪的工作参数之间的关系式，通过最小二乘法进行拟合，得到椭圆偏振仪的工作参数的校正值。
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