[发明专利]一种薄膜太阳能电池的制作工艺

摘要

本发明公开了一种薄膜太阳能电池的制作工艺，其包括：1）在透明基板上沉积前电极材料层；2)形成光电转换层；3)形成背电极材料层：移除部分背电极材料层，单片电池内形成若干个电池分区，相邻两个电池分区之间为共用负极或共用正极，共用正极或负极为通过激光刻蚀移除部分背电极材料层形成的汇流条结构，共用正极或负极与电池引出正极或负极之间通过导通材料带连接。本发明将激光刻蚀技术与背电极材料层的导电特性结合，将单片电池近邻边端的背电极材料层作为电池内串联电池分区的并联连接介质，实现了单片电池内串联电池分区的并联连接，且具有低电池阻抗值并可降低电池开路电压，满足太阳能电池的输出功率及逆变器选型的适应性。

主权项

一种薄膜太阳能电池的制作工艺，其包括以下步骤：1）在透明基板（101）上沉积前电极材料层（102）：移除部分前电极材料层（102），形成数条沿第一Y方向开口以及相交于第一Y方向开口的数条沿第一X方向的开口，将前电极材料层（102）分割成多个带状电极材料层；2)光电转换层（113）的形成:使其覆盖前电极材料层（102）及沿第一X方向开口及第一Y方向开口；然后移除部分光电转换层（113），形成数条平行于第一Y方向开口的第二Y方向开口；3)背电极材料层（115）的形成：使其覆盖光电转换层（113）及第二Y方向开口；移除部分背电极材料层（115），形成平行于第二Y方向开口的第三Y方向开口及平行于第一X方向开口的第三X方向的开口，单片电池内形成若干个电池分区，每个电池分区具有若干个彼此串联的太阳能光电转换单元，相邻两个电池分区之间为共用负极（135）或共用正极（132），并设有电池引出正极（133）和电池引出负极（136）；其特征在于：所述步骤3）中的共用正极（132）、共用负极（135）为通过激光刻蚀移除部分背电极材料层（115）形成的汇流条结构，所述共用正极（132）与电池引出正极（133）、共用负极（135）与电池引出负极（136）之间分别通过第一导通材料带（131）和第二导通材料带（134）连接，从而将单片电池内若干个电池分区并联连接；所述第一导通材料带（131）、第二导通材料带（134）为通过激光刻蚀背电极材料层（115）形成的条状结构。