[发明专利]流体机构、支承部件及流体控制系统

摘要

本发明提供流体机构、支承部件及流体控制系统。流体机构（100）能使多个流体设备单元（10）和与其成套安装的外部流体设备（V1、V2）有效地配置成很紧凑，将各流体设备单元（10）的长边方向的侧面之间贴紧配置，并且把外部流体设备（V1、V2）排列配置在流体设备单元（10）的宽度方向的外侧。此外，在连接外部流体设备（V1、V2）和流体设备单元（10）的流入流路（9c）和流出流路（9d）中，使短的流入流路（9c）与长的流出流路（9d）连接。

主权项

一种流体机构，其特征在于，所述流体机构包括：细长的流体设备单元，在流体流入的输入口和流体流出的输出口之间设置有一个或多个流体设备，把从俯视方向看的连接所述输入口和所述输出口的方向设定为长边方向；以及支承部件，支承多个所述流体设备单元，并将多个所述流体设备单元支承成以使多个所述流体设备单元的长边方向大体相互平行的方式使多个所述流体设备单元相邻，所述支承部件包括：流入流路，与所述输入口连接，把流体导入所述输入口；以及流出流路，与所述输出口连接，把流体从所述输出口导出，形成于所述流入流路的始端的导入口，与所述输入口连接并把流体导入所述输入口，在从俯视方向看作为与所述长边方向垂直的方向的宽度方向上，所述导入口配置在位于最外侧的一个所述流体设备单元的外侧，形成于所述流出流路的终端的导出口，与所述输出口连接并把流体从所述输出口导出，在所述宽度方向上，所述导出口配置在位于最外侧的另一个所述流体设备单元的外侧。