[发明专利]光学式加速度计有效
| 申请号： | 201210378894.9 | 申请日： | 2012-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN103713156A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 王维中;陈晖暄 | 申请（专利权）人： | 原相科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03;G01P15/18 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 陈潇潇;南毅宁 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种光学式加速度计，包含第一衬底、第二衬底、间隙层及处理单元。所述第一衬底包含框体、可移动件及至少一弹性元件；所述可移动件沿至少一方向形成有间隔的开口来作为衍射光栅；所述至少一弹性元件连接于所述框体与所述可移动件之间。所述第二衬底包含至少一感测单元以用以感测所述衍射光栅形成的衍射图案。所述间隙层设置于所述第一衬底与所述第二衬底之间以界定一预设高度。所述处理单元耦接所述感测单元以用以根据所述衍射图案计算三维加速度。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 加速度计 | ||
【主权项】：
一种光学式加速度计，该光学式加速度计包含：第一衬底，该第一衬底包含：框体；可移动件，该可移动件沿至少一方向形成有间隔的开口以作为衍射光栅；及至少一弹性元件，连接于所述框体与所述可移动件之间；第二衬底，包含至少一感测单元以用以感测所述衍射光栅形成的零阶衍射图案及第一阶衍射图案；间隙层，设置于所述第一衬底与所述第二衬底之间，用以界定一预设高度；以及处理单元，耦接所述感测单元，该处理单元用以根据所述零阶衍射图案及所述第一阶衍射图案计算三维加速度。
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