[发明专利]一种缓蚀剂组合物无效

专利信息
申请号: 201210380382.6 申请日: 2012-10-10
公开(公告)号: CN102965090A 公开(公告)日: 2013-03-13
发明(设计)人: 白林;马海霞;严彪;赵宁宁;买涛 申请(专利权)人: 西北大学
主分类号: C09K8/54 分类号: C09K8/54
代理公司: 西安西达专利代理有限责任公司 61202 代理人: 谢钢
地址: 710069 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种缓蚀剂组合物,包括主剂和复配剂,主剂选自油酸基咪唑啉、环烷基咪唑啉、双环咪唑啉,复配剂选自氨基三亚甲基膦酸、水解聚马来酸酐、聚天冬氨酸钠和2-膦酸丁烷-1,2,4-三羧酸,其中,主剂与复配剂质量比为1:5~5:1。本发明通过主剂和复配剂以合理比例复配得到缓蚀剂组合物,达到了协同增效的作用。
搜索关键词: 一种 缓蚀剂 组合
【主权项】:
一种缓蚀剂组合物,包括主剂和复配剂,其特征在于:主剂选自油酸基咪唑啉、环烷基咪唑啉、双环咪唑啉,复配剂选自氨基三亚甲基膦酸、水解聚马来酸酐、聚天冬氨酸钠、2‑膦酸丁烷‑1,2,4‑三羧酸,其中,主剂与复配剂质量比为1:5~5:1。
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