[发明专利]一种缓蚀剂组合物无效
申请号: | 201210380382.6 | 申请日: | 2012-10-10 |
公开(公告)号: | CN102965090A | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 白林;马海霞;严彪;赵宁宁;买涛 | 申请(专利权)人: | 西北大学 |
主分类号: | C09K8/54 | 分类号: | C09K8/54 |
代理公司: | 西安西达专利代理有限责任公司 61202 | 代理人: | 谢钢 |
地址: | 710069 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种缓蚀剂组合物,包括主剂和复配剂,主剂选自油酸基咪唑啉、环烷基咪唑啉、双环咪唑啉,复配剂选自氨基三亚甲基膦酸、水解聚马来酸酐、聚天冬氨酸钠和2-膦酸丁烷-1,2,4-三羧酸,其中,主剂与复配剂质量比为1:5~5:1。本发明通过主剂和复配剂以合理比例复配得到缓蚀剂组合物,达到了协同增效的作用。 | ||
搜索关键词: | 一种 缓蚀剂 组合 | ||
【主权项】:
一种缓蚀剂组合物,包括主剂和复配剂,其特征在于:主剂选自油酸基咪唑啉、环烷基咪唑啉、双环咪唑啉,复配剂选自氨基三亚甲基膦酸、水解聚马来酸酐、聚天冬氨酸钠、2‑膦酸丁烷‑1,2,4‑三羧酸,其中,主剂与复配剂质量比为1:5~5:1。
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