[发明专利]一种具有梁膜结合结构的高g值加速度计无效

专利信息
申请号: 201210380827.0 申请日: 2012-10-09
公开(公告)号: CN102928620A 公开(公告)日: 2013-02-13
发明(设计)人: 赵玉龙;李晓博 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: G01P15/00 分类号: G01P15/00
代理公司: 西安智大知识产权代理事务所 61215 代理人: 贺建斌
地址: 710049 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 一种具有梁膜结合结构的高g值加速度计,包括封装外壳、电路板及SOI压阻芯片,SOI压阻芯片与电路板用胶黏剂粘接在封装外壳凹槽底部,SOI压阻芯片与电路板之间通过引线相连,加速度计内部采用胶黏剂填充,加速度计采用全金属管壳封装,当加速度作用在梁膜结合的结构上时,SOI压阻芯片的十字梁与膜会产生变形,该变形导致压敏电阻阻值改变,通过惠斯通电桥,桥臂电阻阻值的改变会以电压的形式输出,从而完成从加速度到电信号的转变,该加速度计的量程为1×105g,解决了武器在侵彻混凝土、钢甲目标时高g值加速度测量问题,具有量程高、灵敏度高、过载能力强及功耗小的优点,能够满足武器弹药系统高过载侵彻过程中高g值加速度的测量需要。
搜索关键词: 一种 具有 结合 结构 加速度计
【主权项】:
一种具有梁膜结合结构的高g值加速度计,包括封装外壳(1)、电路板(2)及SOI压阻芯片(3),其特征在于:SOI压阻芯片(3)配置在电路板(2)中部的槽内,SOI压阻芯片(3)与电路板(2)之间通过第二引线(6)连接,SOI压阻芯片(3)与电路板(2)用胶黏剂粘接在封装外壳(1)上的第一凹槽(7)底部,电路板(2)上的第一引线(4)通过封装外壳(1)上的引线孔(5)引出,封装的加速度计内部采用胶黏剂填充,封装顶盖(9)焊接在封装外壳(1)的第二凹槽(8)中。
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