[发明专利]接触端子的支承体及探针卡有效
| 申请号： | 201210382409.5 | 申请日： | 2012-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN103048490A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 望月纯;古屋邦浩 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够防止接触端子的老化的接触端子的支承体。对形成于半导体基板的半导体器件进行检查的探针卡（10）具备支承多个探头（12）的外壳（13），该外壳（13）的主体（15）由多个金属薄板（14）层叠而形成，将主体（15）在厚度方向贯通的各探头孔（16）中插嵌有各探头（12），内置于主体（15）的各冷媒流路（17）将外壳（13）冷却。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 端子 支承 探针 | ||
【主权项】：
一种接触端子的支承体，其为探针卡所具备的多个接触端子的支承体，该探针卡对形成于半导体基板的半导体器件进行检查，该接触端子的支承体的特征在于，包括：多个板状部件层叠形成的主体；将该主体在厚度方向贯通的多个接触端子孔；和内置于所述主体的冷却介质流路，所述多个接触端子插嵌于所述多个接触端子孔。
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