[发明专利]一种新型离子轰击炉

摘要

本发明公开了一种新型离子轰击炉，包括炉体（4）、真空系统、供气系统、供电系统、冷却系统；所述炉体（4）包括弧形炉盖（3）、圆形炉筒（5）、炉底（6）、吊挂阴极输电装置（l）、堆放阴极输电装置（11）和底座（12）；本发明技术的主要优点是：①由于炉体所需的管路设计在弧形炉底外部的侧面，因此，维修方便。②由于炉底设计成弧形，所以耐压能力高，在同样条件下，可节省材料50%。③由于赃物沉积在弧形炉底的最低部，所以不会进入抽气泵中。④炉盖与炉底均设计成弧形，这样，气体在炉内循环没有死角。⑤炉体的保温性能好，可以节省能源15%。⑥由于阴极输电装置采用了构成“气隙保护”间隙两侧的构件为金属构件和设有防溅套结构，因此，不产生“打弧”现象。⑦由于在炉盖上设计有多个吊挂阴极输电装置，故可在同一炉内一次完成多种渗层厚度要求的工件。

主权项

一种新型离子轰击炉，其特征在于，包括炉体（4）、真空系统、供气系统、供电系统、冷却系统；所述炉体（4）包括弧形炉盖（3）、圆形炉筒（5）、炉底（6）、吊挂阴极输电装置（l）、堆放阴极输电装置（11）和底座（12）；在所述弧形炉盖（3）上，沿其轴线装有所述吊挂阴极输电装置（1），在所述弧形炉盖（3）的周围绕其轴线对称地还设计有多个吊挂阴极输电装置（l），所述吊挂阴极输电装置（l）呈等距离分布，组成炉体的圆形炉筒（5）设计成多段节，其侧壁采用多层复合隔热层结构，在每节圆形炉筒（5）的上端面的法兰（18）上还设计有可装O 型密封圈（26）的燕尾槽（23）和可装有用压力弹簧（29）支撑阳极连接柱（30）的阳极柱孔眼（24）；炉底设计成弧形结构，在弧形炉底（6）内侧的底部，设计有三个互成120 度角并通过阴极架（15）来支撑阴极盘（16）用的阴极座（14）；堆放阴极输电装置（11），通过炉底的侧壁而横置于阴极盘（16）下方，并与其不相接触，不承受重量，堆放阴极输电装置（11）在其金属内屏蔽套（51）和金属屏蔽套扛（44）之间所形成的气隙保护层（46）结构的外部，加有防溅套；吊挂阴极输电装置（1），是一个用金属连接螺母（45）通过十字阴极杆（4）端部的螺纹，将阴极导套（32）、十字阴极杆（4）、包围十字阴极杆的绝缘层、防溅套（5），密封垫（38）和气隙保护层（46）紧固在一起而形成一个整体刚性结构；真空接头、供气管接头（1）、冷却管接头和热电偶，均设计在弧形炉底（6）的侧面；构成阴极输电装置气隙保护层（46）两侧的构件均是金属构件。