[发明专利]扫描探头显微镜的悬臂及其制造方法、以及热辅助磁头元件的检查方法及其装置

摘要

为了测定热辅助磁头发生的近场光和磁场这两者、能进行热辅助磁头检查，将扫描探头显微镜的悬臂构成为具备：在板状的部件材料的前端部形成探针的杆、在杆的探针的表面形成为薄膜状的磁性体膜、形成于磁性体膜的表面的贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜，将检查热辅助磁头元件的检查装置构成为具备：所述悬臂、检测悬臂的振动的变位检测单元、检测从近场光发光部发生并有悬臂的探针的贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜增强的近场光带来的散射光的近场光检测单元、处理由变位检测单元和近场光检测单元检测而得的信号的处理单元。

主权项

一种扫描探头显微镜的悬臂，其特征在于，具有：由板状的部件材料形成的杆、和形成于该杆的前端部分的探针，在该探针的表面形成有磁性膜，在该磁性体膜的表面形成有贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜，计测试样表面的磁场和近场光。