[发明专利]具有非传导感测质量体的微机电传感器和通过微机电传感器感测的方法有效
| 申请号： | 201210385131.7 | 申请日： | 2012-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN103206970B | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | A·A·梅拉西;B·德玛西;A·科里吉利亚诺 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司;米兰综合工科大学 |
| 主分类号： | G01D5/241 | 分类号： | G01D5/241 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 王茂华,张宁 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种微机电传感器，包括支撑结构(2)，具有形成电容器(10)的至少一个第一电极(7a)和至少一个第二电极(7b)；以及由非传导材料制成的感测装置(3)，感测装置(3)被布置成与关联于电容器(10)的电场交互并且根据自由度(X)相对于支撑结构(2)可移动，从而感测装置(3)相对于第一电极(7a)和第二电极(7b)的相对位置响应于外部应力而可变。感测装置(3)由在本征半导体材料、半导体材料的氧化物、半导体材料的氮化物中选择的材料制成。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 传导 质量 微机 传感器 通过 方法 | ||
【主权项】：
一种微机电传感器，包括：支撑结构(2；102；202；302)，具有形成电容器(10)的至少第一电极(7a；107a；207a；307a)和至少第二电极(7b；107b；207b；307b)；非传导材料的感测装置(3；103；203；303)，布置成与关联于所述电容器(10)的电场交互并且根据自由度(X；Z)相对于所述支撑结构(2；102；202；302)可移动，从而所述感测装置(3；103；203；303)相对于所述第一电极(7a；107a；207a；307a)和相对于所述第二电极(7b；107b；207b；307b)的相对位置响应于外部应力而可变；其特征在于所述感测装置(3；103；203；303)由在下组中选择的材料制成，所述组包括本征半导体材料、半导体材料的氧化物、半导体材料的氮化物。
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