[发明专利]图像传感器的部分掩埋沟道传送装置

摘要

本发明案涉及图像传感器的部分掩埋沟道传送装置。本发明涉及包含光敏元件、浮动扩散区及传送装置的图像传感器像素的实施例。所述光敏元件安置于衬底层中以用于响应于光而积累图像电荷。所述浮动扩散区安置于所述衬底层中以从所述光敏元件接收所述图像电荷。所述传送装置安置于所述光敏元件与所述浮动扩散区之间以选择性地将所述图像电荷从所述光敏元件传送到所述浮动扩散区。所述传送装置包含掩埋沟道装置，所述掩埋沟道装置包含安置于掩埋沟道掺杂剂区上方的掩埋沟道栅极。所述传送装置还包含表面沟道装置，所述表面沟道装置包含安置于表面沟道区上方的表面沟道栅极。所述表面沟道装置与所述掩埋沟道装置串联。所述表面沟道栅极具有与所述掩埋沟道栅极相反的极性。

主权项

一种图像传感器像素，其包括：光敏元件，其安置于衬底层中以用于响应于光而积累图像电荷；浮动扩散“FD”区，其安置于所述衬底层中以从所述光敏元件接收所述图像电荷；及传送装置，其安置于所述光敏元件与所述FD区之间以选择性地将所述图像电荷从所述光敏元件传送到所述FD区，所述传送装置包含：掩埋沟道装置，其包含安置于掩埋沟道掺杂剂区上方的掩埋沟道栅极；及表面沟道装置，其与所述掩埋沟道装置串联，所述表面沟道装置包含安置于表面沟道区上方的表面沟道栅极，其中所述表面沟道栅极具有与所述掩埋沟道栅极相反的掺杂极性。