[发明专利]机台传送部件自清洗方法以及机台传送部件有效
| 申请号： | 201210388933.3 | 申请日： | 2012-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN102941201A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 佟金刚;李阳柏;张传民;张旭昇 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种机台传送部件自清洗方法以及机台传送部件。在机台传送部件中布置气体管道，并且向气体管道通入氮气，从而使氮气与晶圆的传送过程中接触晶圆的机台传送部件区域接触，以便将所示机台传送部件区域上的颗粒带出机台传送部件。从气体管道的进气端口向气体管道的机台端通入洁净氮气，在机台端利用加热器加热氮气。通过流量计控制氮气流量。通过开关的电磁阀来开关控制氮气的喷出。在将传入或传出晶圆时，打开氮气的流量阀，进行喷洗；或者，设定预定间隔时间，每个预定间隔时间则打开氮气的流量阀进行喷洗。在本发明中，增加机台传送部件的自清洗功能，通过热氮气来清洗传送部件的与晶圆接触的位置，从而减少晶圆的交叉污染。 | ||
| 搜索关键词： | 机台 传送 部件 清洗 方法 以及 | ||
【主权项】：
一种机台传送部件自清洗方法，其特征在于包括：在机台传送部件中布置气体管道，并且向气体管道通入氮气，从而使氮气与晶圆的传送过程中接触晶圆的机台传送部件区域接触，以便将所示机台传送部件区域上的颗粒带出机台传送部件。
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