[发明专利]一种良率监测系统及其监测方法

摘要

一种良率监测系统的监测方法，包括：步骤S1：在良率监测系统中预设制程偏移率界限s和缺陷数量界限n；步骤S2：信息采集装置采集在线产品之缺陷数量；步骤S3：缺陷数量比较装置将缺陷数量分别于缺陷数量界限n进行比较；步骤S4：数据运算系统将缺陷数量进行线性拟合，得到制程偏移率a；步骤S5：制程偏移率比较装置将制程偏移率a与制程偏移率界限s进行比较；步骤S6：信息反馈装置进行信息反馈。本发明所述良率监测系统及其监测方法可通过少数批次产品的缺陷数量波动及时发现制程机台的运行状况，进而减少大批量产品的不良，提高产品良率和产品可靠性；另一方面，本发明所述良率监控系统精确度高，且降低了设备使用者的工作量和出错率，提高了生产效率。

主权项

一种良率监测系统，其特征在于，所述良率监测系统包括：信息采集装置，所述信息采集装置用于采集所述良率监测系统所扫描的在线产品之缺陷数量，所述在线产品包括至少5批相邻的产品；缺陷数量比较装置，所述缺陷数量比较装置用于将所述扫描的在线产品之缺陷数量与所述良率监测系统预设的缺陷数量界限n进行比较；数据运算系统，所述数据运算系统将所述至少连续的5批在线产品的缺陷数量进行线性拟合，得到线性函数y＝ax+b，a为所述制程偏移率；偏移率比较装置，所述偏移率比较装置用于将所述制程偏移率a与所述良率监测系统预设的制程偏移率界限s进行比较；信息反馈装置，所述信息反馈装置根据所述偏移率比较装置的比较结果，进行相应信息反馈。