[发明专利]一种基板清洗设备及基板清洗系统

摘要

本发明实施例提供一种基板清洗设备及基板清洗系统，涉及显示器制造领域，能够适应性通过补液单元向清洗单元补给清洗液，节省清洗液，缩短基板清洗设备重置的时间，避免流水线上由于两台基板清洗设备同时重置而引起的死机问题。该基板清洗设备包括相互连通的清洗单元和补液单元；设置于清洗单元和补液单元之间的，用于控制液体流动的补液控制装置；与补液控制装置连接，控制补液控制装置动作的控制器。其中，清洗单元，用于存储清洗液对所述基板进行清洗；补液单元，用于存储清洗液向所述清洗单元补充清洗液；控制器，通过控制补液控制装置的动作，控制清洗液在所述补液单元和所述清洗单元之间的流动。

主权项

一种基板清洗设备，其特征在于，包括：相互连通的清洗单元和补液单元；设置于所述清洗单元和所述补液单元之间的，用于控制液体流动的补液控制装置；与所述补液控制装置连接，控制所述补液控制装置动作的控制器；其中，所述清洗单元，用于存储清洗液对所述基板进行清洗；所述补液单元，用于存储所述清洗液向所述清洗单元补充清洗液；所述控制器，通过控制所述补液控制装置的动作，控制所述清洗液在所述补液单元和所述清洗单元之间的流动。