[发明专利]一种蓝宝石复合衬底和其制备方法及其应用无效
| 申请号： | 201210393371.1 | 申请日： | 2012-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN103779458A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 庄文荣;孙明 | 申请（专利权）人： | 江苏汉莱科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/02 | 分类号： | H01L33/02;H01L33/00;C23C14/06;C30B25/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种蓝宝石复合衬底及其制备方法及其应用，本方法通过在磊晶前对传统的蓝宝石衬底进行改进处理，增加一层应力协变层，形成蓝宝石复合衬底，用于外延磊晶生长，以此提高LED外延芯片的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 复合 衬底 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石复合衬底，其特征在于包括蓝宝石衬底，及通过射频磁控溅射系统溅镀在蓝宝石之上的AlN应力协变层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏汉莱科技有限公司，未经江苏汉莱科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210393371.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：漏斗部件、使用了漏斗部件的包装容器
- 下一篇：输出往复摆动的电机
