[发明专利]掩膜板、制造有机发光显示面板的蒸镀装置及其方法有效
| 申请号： | 201210395285.4 | 申请日： | 2012-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN102899609A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 吴泰必;吴元均 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 何青瓦 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区公*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩膜板、制造有机发光显示面板的蒸镀装置及其方法。该掩膜板包括呈阵列状分布的多个开口区，其中，每一开口区包括呈矩形设置的第一开口区以及设置于第一开口区的四个角的第二开口区，第二开口区与第一开口区连通。本发明通过改变掩膜板的开口区设计，能够降低开口区的成膜无效区的面积，从而提高有机发光显示面板的开口率。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 制造 有机 发光 显示 面板 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括呈阵列状分布的多个开口区，其中，每一所述开口区包括：呈矩形设置的第一开口区以及设置于所述第一开口区的四个角的第二开口区，所述第二开口区与所述第一开口区连通。
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