[发明专利]用于电感耦合等离子体源的内部分离法拉第屏蔽有效
| 申请号： | 201210396411.8 | 申请日： | 2012-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN103107055A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | T.米勒;S.张 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J27/16;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 马红梅;刘春元 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于聚焦射束系统的电感耦合等离子体离子源。一种用于聚焦带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括等离子体室内的导电屏蔽以便减少到等离子体的电容耦合。内部导电屏蔽被偏置电极或被等离子体被保持在与等离子体源基本上相同的电位。内部屏蔽允许等离子体室的外部上的更多种冷却方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电感 耦合 等离子体 内部 分离 法拉第 屏蔽 | ||
【主权项】：
一种带电粒子束系统，其包括；等离子体源，其包括；用于包含等离子体的等离子体室；导体，其用于向等离子体室中提供射频能量；以及导体屏蔽，其用于减少提供射频能量的导体与等离子体之间的电容耦合，其中，该导电屏蔽被放置在等离子体室内；以及一个或多个聚焦透镜，其用于使来自等离子体源的带电粒子聚焦到样本上。
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