[发明专利]用于利用探针扫描样品的扫描方法

摘要

本发明涉及用于利用探针扫描样品的扫描方法。本方法涉及一种扫描样品的方法。扫描样品典型地通过利用探针沿大量的平行线扫描样品来进行。在现有技术的扫描方法中，利用标称相同的扫描图案对样品进行多次扫描。本发明基于如下思想：沿扫描方向的方向上的相邻点之间的相干性比与扫描方向垂直的相邻点的相干性好得多。通过组合彼此垂直地扫描的两个图像，因此应当可能形成利用两个方向上的改进的相干性（由于较短的时间距离）的图像。该方法因此牵涉利用两个扫描图案扫描样品，一个扫描图案的线优选地与其他扫描图案的线垂直。从而可能使用一个扫描图案的线上的扫描点的时间相干性来对准其他扫描图案的线，反之亦然。

主权项

一种利用探针扫描样品的方法，所述方法包括：• 使用至少两个扫描图案来扫描所述样品；• 在利用第一扫描图案依次扫描样品的同时，获取从所述扫描得到的数据并且将所获得的数据映射在与第一扫描图案相关联的第一存储器区域中，该存储器区域包括大量的存储器位置，每个存储器位置与标称扫描位置(x,y)相关联，• 在利用第二扫描图案扫描样品的同时，获取从所述扫描得到的数据并且将所获得的数据映射在与第二扫描图案相关联的第二存储器区域中，该存储器区域包括大量的存储器位置，每个存储器位置与标称扫描位置(u,v)相关联，• 通过组合来自第一存储器区域和第二存储器区域的数据并且将组合数据映射在与改进图像相关联的存储器区域中来形成改进图像，与改进图像相关联的存储器区域的每个点与标称扫描位置相关联，其特征在于• 两个扫描图案呈现多个交叉点的集合，其中扫描图案成角度交叉，交叉点不一定与标称扫描位置一致，从所述集合中选择交点组C，• 在第一扫描期间获取的每个标称扫描位置(x,y)的位置被调整并且在第二扫描期间获取的每个标称扫描位置(u,v)的位置被调整，从而以改进新限定的交点处的实际或内插数据的相似性的方式来限定新的交叉点集合和新的交点组C，• 使用作为标称扫描位置和其他标称扫描位置之间的时间相干性的函数的加权因子，通过所述其他标称扫描位置的调整来监管每个所述标称扫描位置的调整，• 使用经调整的标称扫描位置(x,y)将第一存储器区域的数据映射到改进的图像的一个或多个存储器位置，并且使用经调整的标称扫描位置(u,v)将第二存储器区域的数据映射到改进的图像的一个或多个存储器位置。