[发明专利]阻变存储器件及其制造方法有效
申请号: | 201210397268.4 | 申请日: | 2012-10-18 |
公开(公告)号: | CN103296203B | 公开(公告)日: | 2018-01-05 |
发明(设计)人: | 李民镛;李泳昊;白承范;李锺哲 | 申请(专利权)人: | 爱思开海力士有限公司 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;H01L27/24 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)11363 | 代理人: | 石卓琼,俞波 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开了一种可变存储器件及其制造方法。所述可变存储器件包括可变电阻层,所述可变电阻层形成在形成有下结构的半导体衬底上;下电极,所述下电极形成在可变电阻层上;开关单元,所述开关单元形成在下电极上;以及上电极,所述上电极形成在开关单元上。 | ||
搜索关键词: | 存储 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种阻 变存储器件,包括:第一互连线;第一阻变存储器单元,所述第一阻变存储器单元形成在所述第一互连线上,并包括顺序层叠的第一开关单元、第一加热器以及可变电阻层;第二阻变存储器单元,所述第二阻变存储器单元形成在所述第一阻变存储器单元上,并包括顺序层叠的所述可变电阻层、第二加热器以及第二开关单元;以及第二互连线,所述第二互连线形成在所述第二阻变存储器单元上,其中,第一阻变存储器单元和第二阻变存储器单元共享所述可变电阻层。
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