[发明专利]光声测量装置

摘要

一种能够以高精度测量吸收体的位置和尺寸的测量装置，该测量装置包括：用于发射脉冲光束的光源单元；用于将由光源单元发射的脉冲光束引导到检查对象的内部的照明光学单元；和用于检测由脉冲光束产生的光声信号的声学信号检测单元，其中，照明光学单元包含被相对地配置为使得检查对象被来自其两侧的脉冲光束照射的第一照明光学单元和第二照明光学单元，并且，声学信号检测单元被设置为使得声学信号检测单元的检测表面位于与第一照明光学单元和第二照明光学单元用脉冲光束照射的检查对象的照射表面中的一个表面那侧相同的侧。

主权项

一种测量装置，包括：照明光学单元，所述照明光学单元用于将由光源单元发射的脉冲光引导到检查对象；检测单元，所述检测单元用于检测在检查对象的内部由所述脉冲光产生的弹性波并且将所述弹性波转换成电信号，其中，所述照明光学单元包含第一照明光学单元和第二照明光学单元，所述第一照明光学单元和第二照明光学单元被配置为经由被置于它们之间的检查对象彼此相对，用于利用来自其两侧的脉冲光照射检查对象，以及其中，所述检测单元被设置于与配置第一照明光学单元的侧和配置第二照明光学单元的侧中的一个相同的侧。