[发明专利]一种小口径回转轴对称光学元件抛光装置及方法

摘要

本发明公开了一种小口径回转轴对称光学元件抛光装置及方法。该装置包括密封容器机构，安装于密封容器机构内腔中的工作台驱动系统，与密封容器机构连接的抛光流体循环系统；密封容器机构内腔上部形成负压空间。抛光时利用负压差的吸流效应使抛光流体吸出、复合负压空穴效应对工件面进行加工，将加工的常压环境转换为负压环境，减少喷射过程中空气干扰，使抛光点缩小，增强微细磨粒的滑擦作用与稳定性；同时负压空穴效应形成强烈的空穴冲击波和高速微射流，提高了工件表面的去除效率。在磨粒切削与空穴冲蚀共同作用下进行材料去除，获得高质量的表面。该装置适用于各种回转对称曲面光学元件的抛光加工，对于自动化加工有很高的实用价值。

主权项

一种小口径回转轴对称光学元件抛光装置，其特征在于，所述装置包括密封容器机构（2），安装于密封容器机构（2）内腔中的工作台驱动系统（1），与密封容器机构（2）连接的抛光流体循环系统（3）；所述工作台驱动系统（1）包括伺服升降平台（11），设于伺服升降平台（11）上的伺服旋转平台（12），设于伺服旋转平台（12）上用于固定回转轴对称曲面工件（15）的工件支撑台（13）；所述密封容器机构（2）包括圆形支撑台（21），设于圆形支撑台（21）上的密封圆筒（22），套在密封圆筒（22）上部且通过可调定位块（24）与密封圆筒（22）锁紧连接的密封支撑盖（26）；所述可调定位块（24）、密封圆筒（22）和密封支撑盖（26）之间由调位密封圈（25）密封；所述密封支撑盖（26）外侧壁上设有伺服摆动电机（27）；所述工件支撑台（13）与密封圆筒（22）内壁之间的环隙由旋转密封圈（14）密封，使密封容器机构（2）内腔上部形成密封的负压空间；所述抛光流体循环系统（3）包括内部设有搅拌器（305）的储液箱（304），与储液箱（304）出口连接的吸入管（306），与吸入管（306）连接的摆动管（308），与储液箱（304）进口连接的回流管（303），与回流管（303）连接的吸流泵（302），与吸流泵（302）连接的吸出管（301）；所述吸出管（301）与密封支撑盖（26）顶部连通；所述摆动管（308）末端设有限流喷嘴（309）；所述摆动管（308）穿过伺服摆动电机（27）中心主轴和密封支撑盖（26）后伸入密封容器机构（2）内腔上部负压空间，其末端限流喷嘴（309）指向工件支撑台（13）的中心；所述摆动管（308）与密封支撑盖（26）之间的环隙由摆动密封圈（28）密封。