[发明专利]检查装置、处理装置、信息处理装置以及对象制造装置在审
| 申请号： | 201210400854.X | 申请日： | 2012-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN103217934A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 太田真之 | 申请（专利权）人： | 索尼公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及检查装置、处理装置、信息处理装置以及对象制造装置。一种检查装置包括检测器、发送器以及接收器。检测器被配置为检测由处理装置处理的对象是否具有缺陷。发送器被配置为向处理装置发送关于通过检测器检测的缺陷的缺陷信息。接收器被配置为在处理装置基于对应于缺陷信息的解决措施信息执行解决处理且发送关于解决处理的内容的内容信息时接收发送的内容信息。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 处理 信息处理 以及 对象 制造 | ||
【主权项】：
一种检查装置，包括：检测器，被配置为检测由处理装置处理的对象是否具有缺陷；发送器，被配置为将关于通过所述检测器检测的所述缺陷的缺陷信息发送至所述处理装置；以及接收器，被配置为在所述处理装置基于对应于所述缺陷信息的解决措施信息执行解决处理并发送关于所述解决处理的内容的内容信息时接收所发送的内容信息。
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