[发明专利]一种使用西门子硅棒作原料拉硅单晶的方法

摘要

本发明涉及硅单晶晶体生长。近些年出现很多使用连续直拉法拉制硅单晶的尝试，而连续拉制过程中对张晶炉内的硅进行充成为工艺实现的最大瓶颈。本发明提供一种使用西门子硅棒作原料拉硅单晶的方法。将西门子还原炉产出的硅棒通过自动进给机构从坩埚上方浸入熔融硅使得硅棒熔化。当拉制单晶使得坩埚中的熔融硅被消耗时，自动进给机构将硅棒向下进给从而对坩埚中的熔融硅液的消耗实现补充。

主权项

一种使用西门子硅棒作原料拉硅单晶的方法权利要求为利用如图所示的西门子法多晶硅棒连续进给至坩埚中熔融，从而对坩埚中的熔融硅液的消耗实现连续补充拉制硅单晶的方法。对硅棒的进给方向进行变更，比如将硅棒同水平形成非90度的锐角进入以减少硅棒重力的影响均不构成对本发明的合理回避。都属于本专利的权利要求范围。为对硅棒的进给增加传感器，图形采集装置，伺服机构，自控系统等，或者为控制硅棒熔融速度增加加热或者冷却装置均视作本发明的具体实施方案。不构成对本发明的合理回避，属于本专利的权利要求范围。