[发明专利]测量设备及其控制方法

摘要

本发明提供一种测量设备及其控制方法，包括平台、可移动地设置于该平台上的量测头、多个气压球、控制装置及充气装置，所述控制装置在该量测头由当前测量点移动至下一测量点的过程中，控制该充气装置对相应的气压球进行充气。本发明的测量设备的控制装置可在量测头由当前测量点移动至下一测量点的过程中，控制充气装置将所需充气量在该所需时间内均匀充入到相应的气压球中，从而可减小平台在量测头移动和充气球充气的过程中的振动，可使平台在量测头移动后快速恢复水平状态，降低量测头的测量误差，进而提高液晶面板的生产效率。本发明进一步提供了一种液晶面板测量设备的控制方法。

主权项

一种测量设备，包括平台、可移动地设置于该平台上的量测头以及用于支撑该平台的多个气压球，其特征在于，还包括控制装置及充气装置，所述控制装置用于控制该充气装置在该量测头于当前测量点移动至下一测量点的过程中对相应的气压球进行充气。