[发明专利]显示基板的大气压等离子体处理装置有效
申请号: | 201210401682.8 | 申请日: | 2012-10-19 |
公开(公告)号: | CN102956432A | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 黄文同;胡文斌 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种显示基板的APP处理装置,属于显示技术领域。解决了现有的APP处理装置难以使等离子体在玻璃基板上均匀分布的技术问题。该APP处理装置,用于对显示基板进行APP处理,包括射频发生器和相对竖直放置的两个电极板;其中,一个电极板的内表面为平面,另一个电极板的内表面为阶梯面,使所述两个电极板之间形成上窄下宽的缝隙,并在所述缝隙内产生等离子体;所述射频发生器与所述两个电极板相连接,向所述两个电极板施加射频信号。本发明应用于玻璃基板的APP处理。 | ||
搜索关键词: | 显示 大气压 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】:
一种显示基板的大气压等离子体处理装置,用于对显示基板进行大气压等离子体处理,其特征在于:包括射频发生器和相对竖直放置的两个电极板;其中,一个电极板的内表面为平面,另一个电极板的内表面为阶梯面,使所述两个电极板之间形成上窄下宽的缝隙,并在所述缝隙内产生等离子体;所述射频发生器与所述两个电极板相连接,向所述两个电极板施加射频信号。
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