[发明专利]对薄膜提供外加原位应力的装置及其对应力值的测量方法

摘要

本发明公开了一种对薄膜提供外加原位应力的装置，包括千分表、螺杆、螺母、支架、轴承、千分表固定连杆、金属刀片固定架、上金属刀片、下金属刀片、连杆、夹持器和底座，上金属刀片和下金属刀片固定在金属刀片固定架的内壁上，上金属刀片和下金属刀片之间有空隙；连杆的一端固定在金属刀片固定架上，连杆的另一端与千分表的测头相接触。利用该装置进行应力值的测量方法，包括以下步骤：A）薄膜生长在衬底上；B）制备薄膜电容器的上电极；C）固定薄膜；D）施加张应力；E）施加压应力；F)测量位置量；G）测量有效长度；H)测量厚度；I）测算应力值。利用该装置对薄膜提供外加原位应力时，可以避免出现“空程差”，提高测量精度。

主权项

一种对薄膜提供外加原位应力的装置，其特征在于，该装置包括千分表（1）、螺杆（2）、螺母（3）、支架（4）、轴承（5）、千分表固定连杆（6）、金属刀片固定架（7）、上金属刀片（8）、下金属刀片（9）、连杆（10）、夹持器（11）和底座（12），所述的支架（4）的顶部设有通孔，螺母（3）固定连接在支架（4）的顶面，且螺母（3）和支架（4）的通孔同轴，螺杆（2）与螺母（3）相配合，且螺杆（2）的顶端位于支架（4）外侧，螺杆（2）的底端位于支架（4）内侧；轴承（5）和金属刀片固定架（7）位于支架（4）内侧，且轴承（5）套装在螺杆（2）的底部，金属刀片固定架（7）固定连接在轴承（5）的外壁面，上金属刀片（8）和下金属刀片（9）固定连接在金属刀片固定架（7）的内壁上，且上金属刀片（8）的刀口和下金属刀片（9）的刀口相对，上金属刀片（8）的刀口和下金属刀片（9）的刀口处于同一竖直平面内，上金属刀片（8）和下金属刀片（9）之间有空隙；千分表（1）位于支架（4）外侧，且千分表（1）竖直放置，千分表（1）通过千分表固定连杆（6）固定在支架（4）上，支架（4）的侧壁上设有第一通槽（13），连杆（10）穿过第一通槽（13），连杆（10）的一端固定连接在金属刀片固定架（7）的外壁面，连杆（10）的另一端与千分表（1）的测头相接触，夹持器（11）固定连接在底座（12）上，且上金属刀片（8）和下金属刀片（9）之间的空隙与夹持器（11）的夹持口相对。