[发明专利]光学设备、位置检测设备、显微镜设备以及曝光设备无效
| 申请号： | 201210405108.X | 申请日： | 2012-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN103091840A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 山口渉;稻秀树 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B7/00;G03F7/20;G01B11/00;H01J37/26 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 欧阳帆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了光学设备、位置检测设备、显微镜设备以及曝光设备。该光学设备包括：孔径光阑，包括第一孔和第二孔并且被固定在照明光学系统的光瞳面上，第一孔被配置为将用于照射照明表面的照明条件限定为第一条件，第二孔被配置为将照明条件限定为第二条件；遮光板；以及驱动单元，被配置为在将照明条件设定为第一条件时定位遮光板以使得遮光区域遮蔽从光源通过第二孔延伸到照明表面的第二路径，以及在将照明条件设定为第二条件时定位遮光板以使得遮光区域遮蔽从光源通过第一孔延伸到照明表面的第一路径。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 设备 位置 检测 显微镜 以及 曝光 | ||
【主权项】：
一种光学设备，包括：照明光学系统，被配置为利用来自光源的光照射照明表面；孔径光阑，包括第一孔和第二孔并且被固定在照明光学系统的光瞳面上，第一孔被配置为将用于照射照明表面的照明条件限定为第一条件，第二孔被配置为将照明条件限定为与第一条件不同的第二条件；遮光板，包括遮光区域；以及驱动单元，被配置为驱动遮光板，其中在将照明条件设定为第一条件时，驱动单元定位遮光板以使得遮光区域遮蔽从光源通过第二孔延伸到照明表面的第二路径，以及在将照明条件设定为第二条件时，驱动单元定位遮光板以使得遮光区域遮蔽从光源通过第一孔延伸到照明表面的第一路径。
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