[发明专利]平行度可调的微机电系统法布里珀罗腔波长可调谐滤波器有效
| 申请号： | 201210407660.2 | 申请日： | 2012-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN102866497A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 庄须叶;张建飞;姚军;邱传凯;周崇喜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明是平行度可调的微机电系统法布里珀罗腔波长可调谐滤波器，微桥部的桥面作为法布里珀罗腔的上电极；光栅位于微桥部的桥面的中央处；基底为最下层；多个下电极，平行对称的分布在微桥部的下面，分别固定在两个绝缘层上面；两个绝缘层覆盖在基底上，将多个下电极与上电极之间的电绝缘；两个矩形孔位于微桥部的两边；前腔面位于光栅的区域所对应桥面的下表面；后腔面位于光栅下方的在两绝缘层之间的基底的上表面，用作法布里珀罗腔的后腔面；在多个下电极和上电极之间加入不同的电压并形成复杂的静电场，使法布里珀罗腔的可动腔面向下移动的过程中，调整可动腔面的形貌，用于调整法布里珀罗腔前腔面与后腔面之间的平行度。 | ||
| 搜索关键词： | 平行 可调 微机 系统 法布里珀罗腔 波长 调谐 滤波器 | ||
【主权项】：
一种平行度可调的微机电系统法布里珀罗腔波长可调谐滤波器，其特征在于：包括：微桥部、光栅、基底、多个下电极、第一绝缘层、第二绝缘层、前腔面、后腔面、桥面和两个矩形孔，其中：微桥部，具有一桥面，桥面作为法布里珀罗腔的上电极；光栅，位于微桥部的桥面的中央处，并集成在一起；基底，作为最下层；多个下电极，平行对称的分布在微桥部的下面，分别固定在第一绝缘层和第二绝缘层上面；第一绝缘层和第二绝缘层，覆盖在基底之上；前腔面，位于光栅的区域所对应桥面的下表面，形成法布里珀罗腔可动腔面；后腔面，位于光栅正下方的在第一绝缘层和第二绝缘层之间的基底的上表面，用作法布里珀罗腔的后腔面；通过在多个下电极和上电极之间加入不同的电压，在上电极、多个下电极之间形成复杂的静电场，使法布里珀罗腔的可动腔面在向下移动的过程中，同时调整可动腔面的形貌，用于动态调整法布里珀罗腔前腔面与后腔面之间的平行度。
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