[发明专利]一种液态源扩散炉的安防装置及其使用方法

摘要

一种涉及扩散炉领域的液态源扩散炉的安防装置及其使用方法，所述的装置在应用时能够通过相应的流量计与隔膜阀随时控制运载N2气路和O2气路中的气流，从而由源头减少了气体泄露的机率；其次，利用源瓶压力传感器预防了源瓶在应用中因出气口不畅而造成内压过大及爆瓶的危险；同时，利用尾气管压力传感器预防了反应炉尾气排放不畅的现象，利用炉门传感器避免了反应炉炉门关闭不严的现象，以及利用温度传感器有效的控制了反应炉的温度，避免了反应炉在应用中出现不反应或是反应不充分的现象，从而保障了掺杂过程的操作安全。

主权项

一种液态源扩散炉的安防装置及其使用方法，所述的装置包含扩散炉本体，其特征是：所述的扩散炉本体中的运载N2气路(1)、O2气路(2)和吹扫N2气路(3)中均安装有对应的用于测量和控制的流量计、以及用于接通或关闭气路的隔膜阀，其中，在运载N2气路(1)中安装的N2隔膜阀(6)设置于安装在运载N2气路(1)的N2流量计(4)和源瓶进气阀(5)之间的管路中，且在位于N2隔膜阀(6)与源瓶进气阀(5)之间的管路设有用于检测源瓶(16)压力值的源瓶压力传感器(7)；所述的源瓶(16)压力值设定为30～100kPa；所述的O2气路(2)设有O2流量计(8)和O2隔膜阀(9)；此外，所述的扩散炉本体中的反应炉(10)设有设定值不低于550℃的温度传感器(11)，反应炉(10)炉门的开关机构设有炉门传感器(12)，反应炉(10)的尾气排放管路(13)中设有用于检测管路内压力值的尾气管压力传感器(14)；所述的尾气排放管路(13)的压力值设定为不大于‑100kPa；所述的N2流量计(4)、O2流量计(8)、N2隔膜阀(6)、源瓶压力传感器(7)、尾气管压力传感器(14)以及温度传感器(11)均连接至具有检测、传输信号及控制、报警功能的控制装置(15)；所述装置的使用方法如下：当所述的源瓶压力传感器(7)检测出源瓶(16)的压力值大于其设定值时，源瓶压力传感器(7)将检测出的不正常信号传递至控制装置(15)，控制装置(15)自动报警提示源瓶(16)压力过高，并同时控制N2隔膜阀(6)关闭运载N2气路(1)；当所述的O2流量计(8)检测出O2气路(2)中O2流量的设定值不大于0 sccm时，或是检测出O2流量的波动偏差超出O2流量设定值的±15%时，O2流量计(8)将检测出的不正常信号传递至控制装置(15)，控制装置(15)自动报警并同时关闭运载N2气路(1)；所述的温度传感器(11)检测出反应炉(10)的温度小于其设定值时，温度传感器(11)将检测出的不正常信号传递至控制装置(15)，控制装置(15)自动报警并同时关闭运载N2气路(1)；当炉门传感器(12)检测出反应炉(10)的炉门正常关闭时，炉门传感器(12)将检测出的正常信号传递至控制装置(15)，从而正常进入下一工序，若控制装置(15)没有接收到炉门关闭的正常信号则自动报警并同时关闭运载N2气路(1)；当尾气管压力传感器(14)检测出反应炉(10)的尾气排放管路(13)的压力值大于其设定值时，尾气管压力传感器(14)将检测出的不正常信号传递至控制装置(15)，控制装置(15)自动报警并使反应炉(10)进入待机模式，停止工艺运行。