[发明专利]微机械器件以及用于制造微机械器件的方法有效
| 申请号： | 201210410337.0 | 申请日： | 2012-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN103091510A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | J·克拉森;A·克尔布尔;L·特布耶 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械器件（101，301，401），包括：衬底（102）；振动质量（103），其在第一悬架（105）上与衬底（102）连接；至少一个第一电极（117），用于检测振动质量（103）在第一方向上的运动，其中第一电极（117）在第二悬架（109）上与衬底（102）连接；至少一个第二电极（127；127a；127b），用于检测振动质量（103）在不同于第一方向的第二方向上的运动，其中第二电极（127；127a；127b）在第三悬架（125）上与衬底（102）连接，本发明规定，第一电极（117）借助支承臂（111）与第二悬架（109）机械连接并且与第二悬架（109）隔开间距地设置。本发明还涉及一种用于制造微机械器件的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 器件 以及 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机械器件（101，301，401），包括：‑衬底（102），‑振动质量（103），其在第一悬架（105）上与衬底（102）连接，‑至少一个第一电极（117），用于检测振动质量（103）在第一方向上的运动，其中，第一电极（117）在第二悬架（109）上与衬底（102）连接，‑至少一个第二电极（127；127a；127b），用于检测振动质量（103）在不同于第一方向的第二方向上的运动，其中，第二电极（127；127a；127b）在第三悬架（125）上与衬底（102）连接，其特征在于，‑第一电极（117）借助支承臂（111）与第二悬架（109）机械连接并且与第二悬架（109）隔开间距地设置。
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